【永村 直佳】多次元X線イメージングを活用した原子層機能デバイスの物性制御法探索基盤プロセスの構築

さきがけ研究者

永村 直佳画像

永村 直佳

物質・材料研究機構
先端材料解析研究拠点
主任研究員

研究概要

半導体デバイスやエネルギーデバイスへの応用が期待される、膜厚が1~数原子層程度の原子層物質では、基板との相互作用や欠陥などの環境要因が物性に顕著に現れます。本提案では、最先端の放射光分析技術とデータ科学による大規模スペクトルデータ解析技術を融合させて多次元X線イメージングを実現し、実デバイスの直接観測を通して、原子層物質の機能発現予測に不可欠な環境要因との相互作用データベースの構築を目指します。

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