【山根 大輔】多層エレクトレット集積型CMOS-MEMS振動発電素子の創製

さきがけ研究者

山根 大輔画像

山根 大輔

東京工業大学
科学技術創成研究院未来産業技術研究所
助教

研究概要

本研究では、エレクトレット実装技術とCMOS-MEMS技術を融合し、環境振動エネルギーをmW級の電気エネルギーに変換する小型振動発電デバイスの実現を目指します。多層エレクトレットと高密度メタル可動電極および周辺回路・センサを集積化することで、無線通信可能な自己給電型環境センサ応用に向けた、新たな振動発電素子を実現します。

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