Facilities

  • 低温マイクロプローバー１号機

    DC仕様、磁場 ～0.9 T，7KヘリウムGM冷凍機

  • 低温マイクロプローバー２号機

    マイクロ波/DC仕様、磁場 ～0.9 T，7KヘリウムGM冷凍機

  • ベクトル磁場マイクロプローバー

    ３次元ベクトル磁場、マイクロ波プローブ

  • 電子スピン共鳴装置

    9.6GHzマイクロ波

  • 低温磁場物性測定装置　PPMS

    9T超伝導電磁石、VSM、磁気トルク、AC輸送物性、熱物性等

  • 走査プローブ顕微鏡 SPM

    真空型,AFM, MFM

  • マイクロ波ブロードバンド分光システム

  • 各種電子測定装置の一部

  • 汎用低温磁気物性測定器

  • 光学実験台１

    半導体レーザー、安定化ガスレーザー、分光器、PEM等各種光学機器

  • デジタル金属顕微鏡

  • 電子ビーム蒸着in-situ測定装置

  • 専用クリーンルーム入口

  • 電子線リソグラフィー装置・走査電子顕微鏡

  • 電気炉、恒温器、スピンコーター、フォトリソマスクアライナー等

  • X線二次元検出器回折システム

  • 複合製膜装置１号機

    超高真空電子ビーム蒸着、２源マグネトロンスパッタ、ドライエッチング、基板加熱、全方位マニピュレータ

  • 複合製膜装置２号機

    超高真空電子ビーム蒸着、２源マグネトロンスパッタ、ドライエッチング

  • レーザーMBE製膜装置１号機

    コンビナトリアル、差動排気RHEED、エキシマレーザー

  • レーザーMBE製膜装置２号機

    コンビナトリアル、差動RHEED、エキシマレーザー

  • 液相エピキタシー製膜装置

  • 小型イオンビームスパッタ・エッチング装置

  • 超音波ワイアボンダー

  • 精密スクライバー

  • パターン加工装置

  • 高温炉

  • 高圧プレス装置

  • 各種工作機器

    スピンコーター、ダイアモンドカッター、自動研磨機、ボール盤、アニール炉、管状炉、ミニエッチング・スパッタ装置

  • 化学実験用ドラフト

  • 電気工作・作業スペース

  • 走査トンネル顕微鏡STM