DC仕様、磁場 ~0.9 T,7KヘリウムGM冷凍機
マイクロ波/DC仕様、磁場 ~0.9 T,7KヘリウムGM冷凍機
3次元ベクトル磁場、マイクロ波プローブ
9.6GHzマイクロ波
9T超伝導電磁石、VSM、磁気トルク、AC輸送物性、熱物性等
真空型,AFM, MFM
半導体レーザー、安定化ガスレーザー、分光器、PEM等各種光学機器
超高真空電子ビーム蒸着、2源マグネトロンスパッタ、ドライエッチング、基板加熱、全方位マニピュレータ
超高真空電子ビーム蒸着、2源マグネトロンスパッタ、ドライエッチング
コンビナトリアル、差動排気RHEED、エキシマレーザー
コンビナトリアル、差動RHEED、エキシマレーザー
スピンコーター、ダイアモンドカッター、自動研磨機、ボール盤、アニール炉、管状炉、ミニエッチング・スパッタ装置