※ 所属・役職は、活動終了時点のものです。
戦略目標
新原理・新機能・新構造デバイス実現のための材料開拓とナノプロセス開発
研究総括
渡辺 久恒（（株）EUVL基盤開発センター 相談役）
概要
この研究領域は、半導体ロードマップ戦略に基づく技術進化の飽和を超越することを目的として、 微細化パラダイムのみでは実現できない機能・性能を持つ、革新的且つ実用化可能なエレクトロニクスデバイスを 創製するための材料・構造の開発及びプロセス開発を行う研究を対象とします。
具体的には、新しい原理により消費電力の増大、製造コストの巨額化といった実用上の問題を解決するための高集積情報処理デバイス、 有機物を含め異種材料や技術の融合により新機能・高性能を発揮するデバイス、及びそれらを可能にするプロセス研究、 また従来にない斬新なアプリケーションを切り拓く研究等が含まれます。
本研究領域では、材料・プロセスの特性・機構解明に留まらず、実用技術に発展することが十分見込まれる研究を推進します。
本研究領域は、文部科学省の選定した戦略目標「新原理・新機能・新構造デバイス実現のための材料開拓とナノプロセス開発」のもとに、平成19年度に発足しました。
領域アドバイザー
| 和田 敏美 |
技術研究組合次世代パワーエレクトロニクス研究開発機構（FUPET） 専務理事 |
| 石原 宏 |
東京工業大学 名誉教授 |
| 大泊 巌 |
早稲田大学 名誉教授 |
| 大野 英男 |
東北大学 電気通信研究所 教授 |
| 財満 鎭明 |
名古屋大学 大学院工学研究科 教授 |
| 高木 信一 |
東京大学 大学院工学研究科 教授 |
| 福間 雅夫 |
（一社）半導体産業研究所 代表理事所長 |
| 百瀬 寿代 |
（株）東芝 デバイスプロセス開発センター 主務 |
平成19年度 採択課題
機能性酸化物を用いた界面相転移スイッチングデバイスの開発
研究代表者
秋永 広幸（産業技術総合研究所 ナノデバイスセンター センター長）
主たる共同研究者
| 寺倉 清之 | 北陸先端科学技術大学院大学 先端融合領域研究院 特別招聘教授 |
グラフェン・オン・シリコン材料・デバイス技術の開発
研究代表者
尾辻 泰一（東北大学 電気通信研究所 教授）
主たる共同研究者
| 佐野 栄一 | 北海道大学 量子集積エレクトロニクス研究センター 教授 |
| 末光 眞希 | 東北大学 電気通信研究所 教授 |
| Ryzhii Maxim V. | 会津大学 コンピュータ理工学部 准教授 |
| Ryzhii Victor | 会津大学 コンピュータ理工学部 准教授 |
真空紫外レーザー光発生用非線形光学結晶の開発
研究代表者
佐々木 孝友（大阪大学 光科学センター 特任教授）
主たる共同研究者
| 今井 信一 | アドバンスド・マスク・インスペクション・テクノロジー株式会社 第一開発部 部長 |
| 古川 保典 | 株式会社オキサイド 代表取締役社長 |
ハーフメタル強磁性体を用いたスピン機能MOSFETの開発
研究代表者
菅原 聡（東京工業大学 大学院理工学研究科 准教授）
主たる共同研究者
| 猪俣 浩一郎 | 物質・材料研究機構 名誉フェロー |
| 田中 雅明 | 東京大学 大学院工学系研究科 教授 |
| 三谷 誠司 | 物質・材料研究機構 環境・エネルギー材料部門 グループリーダー |
極微細加工用レジスト研究とプロセスシミュレーターの開発
研究代表者
田川 精一（大阪大学 産業科学研究所 特任教授）
LSI用3次元カーボン・アクティブ配線の開発
研究代表者
二瓶 瑞久（富士通株式会社 知的財産権本部情報部先端技術研究室 室長付）
主たる共同研究者
| 池永 英司 | 高輝度光科学研究センター 利用研究促進部門 研究員 |
| 高桑 雄二 | 東北大学 多元物質科学研究所 准教授 |
平成20年度 採択課題
縦型ボディーチャネルMOSFETとその集積プロセスの開発
研究代表者
遠藤 哲郎（東北大学 学際科学国際高等研究センター 教授）
主たる共同研究者
| 小池 淳一 | 東北大学 未来科学技術共同研究センター 教授 |
| 塚本 雄二 | 東京エレクトロン株式会社 MRAMプロジェクト準備室 室長 |
コヒーレントEUV光を用いた極微パタン構造計測技術の開発
研究代表者
木下 博雄（兵庫県立大学 高度産業科学技術研究所 教授）
主たる共同研究者
| 永田 豊 | 理化学研究所 緑川レーザー物理工学研究室 専任研究員 |
| 藤田 尚徳 | 大阪大学 レーザーエネルギー学研究センター 准教授 |
Ge High－k CMOSに向けた固相界面の理解と制御技術の開発
研究代表者
鳥海 明（東京大学 大学院工学系研究科 教授）
数値シミュレーションによる新材料・新機能の開発
研究代表者
前川 禎通（日本原子力研究開発機構 先端基礎研究センター センター長）
主たる共同研究者
| 市村 雅彦 | 株式会社日立製作所 中央研究所 主任研究員 |
| 柚木 清司 | 理化学研究所 開拓研究本部 主任研究員 |
超高速ナノインプリントリソグラフィ技術のプロセス科学と制御技術の開発
研究代表者
松井 真二（兵庫県立大学 高度産業科学技術研究所 教授）
主たる共同研究者
| 中川 勝 | 東北大学 多元物質科学研究所 教授 |
| 平井 義彦 | 大阪府立大学 大学院工学研究科 教授 |
| 廣島 洋 | 産業技術総合研究所 集積マイクロシステム研究センター 副研究センター長 |
平成21年度 採択課題
ナノデバイスのピコ秒物理の解析による揺らぎ最小化設計指針の開発
研究代表者
大毛利 健治（筑波大学 数理物質系 准教授）
主たる共同研究者
| 白石 賢二 | 筑波大学 計算科学研究センター 教授 |
| 渡邉 孝信 | 早稲田大学 理工学術院 教授 |
計算科学によるグラファイト系材料の基礎物性解明とそのデバイス応用における設計指針の開発
研究代表者
岡田 晋（筑波大学 数理物質系 准教授）
主たる共同研究者
| 大谷 実 | 産業技術総合研究所 ナノシステム研究部門 上級主任研究員 |
| 中田 恭子 | 青山学院大学 理工学部 准教授 |
高密度多層配線・三次元積層構造における局所的機械強度の計測手法の開発
研究代表者
神谷 庄司（名古屋工業大学 大学院工学研究科 教授）
主たる共同研究者
電荷レス・スピン流の三次元注入技術を用いた超高速スピンデバイスの開発
研究代表者
木村 崇（九州大学 稲盛フロンティア研究センター 教授）
主たる共同研究者
| 伊藤 博介 | 関西大学 システム理工学部 教授 |
| 能崎 幸雄 | 慶應義塾大学 理工学部 准教授 |
| 浜屋 宏平 | 大阪大学 大学院基礎工学研究科 教授 |
| 宮尾 正信 | 九州大学 大学院システム情報科学研究院 特任教授 |
3端子型原子移動不揮発性デバイス「アトムトランジスター」の開発
研究代表者
長谷川 剛（物質・材料研究機構 国際ナノアーキテクトニクス研究拠点 主任研究員）
主たる共同研究者
| 山口 周 | 東京大学 大学院工学系研究科 教授 |
| 渡邉 聡 | 東京大学 大学院工学系研究科 教授 |
原子論から始まる統合シミュレータの開発
研究代表者
森 伸也（大阪大学 大学院工学研究科 准教授）
主たる共同研究者
| 伊藤 公平 | 慶應義塾大学 理工学部 教授 |
| 宇野 重康 | 立命館大学 理工学部 准教授 |
| 土屋 英昭 | 神戸大学 大学院工学研究科 准教授 |
革新的プロセスによる金属／機能性酸化物複合デバイスの開発
研究代表者
湯浅 新治（産業技術総合研究所 ナノスピントロニクス研究センター センター長）
主たる共同研究者
| 鈴木 義茂 | 大阪大学 大学院基礎工学研究科 教授 |
| 恒川 孝二 | キヤノンアネルバ株式会社 開発統括部門プロセス開発センター 部長 |
CREST
プレス発表
