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JSTnewsは、独立行政法人科学技術振興機構(略称JST)の広報誌です。JSTの活動と、最新の科学技術・産学官連携・理数教育などのニュースを、わかりやすくご紹介します。
縦型トランジスターとその集積回路が表面に試作された直径300ミリメートルのウエハーを手にする、東北大学国際集積エレクトロニクス研究開発センター長の遠藤哲郎さん。ウエハーは集積回路(IC)の材料となる厚さ1ミリメートル程度の半導体の基板で、シリコン製のものが多い。ウエハー表面を加工して、トランジスターなどを組み込んだ多数のICをつくり、最後に個々のICチップとして切り出す。直径が大きいほど1度に多くのチップをつくれ、捨てる端の部分も減らせるため、ウエハーは大型化する傾向にある。遠藤さんの後ろの顕微鏡のような機械は、作成したウエハー上の小さなチップの1つ1つに電極をあてて評価・解析するウエハープローバー。