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光・量子飛躍フラッグシッププログラム（Q-LEAP）次世代レーザー技術領域

プレス発表

2024年7月11日
ナノ秒紫外レーザーにより20 nmの先端をもつナノ構造を高密度にシリコン太陽電池表面に形成
― 高効率のシリコン太陽電池開発を目指して ―
「先端レーザーイノベーション拠点「光量子科学によるものづくりCPS 化拠点」部門」
基礎基盤研究「先端ビームによる微細構造物形成過程解明のためのオペランド計測」
京都大学、東海大学
2024年5月31日
DUVレーザーで半導体基板に世界最小の穴あけ加工を実現
―4法人で半導体後工程技術を開発―
「先端レーザーイノベーション拠点「光量子科学によるものづくりCPS 化拠点」部門」
Flagship プロジェクト「光量子科学によるものづくりCPS 化拠点」
東京大学

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