裸眼3D液晶モニタ(FDF2301-3D)
区切り
走査電子顕微鏡(SEM)のリアルタイム3D観察を可能に

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裸眼3D液晶モニタ(FDF2301-3D)

メーカー名 :
 (株)ナナオ

製品の紹介(特徴など) :
 SEM (走査電子顕微鏡)や半導体検査装置に適した高い奥行きの再現性を実現した裸眼3Dモニターです。

 製品情報URL : 
 http://www.eizo.co.jp/company/news/2010/NR10-031.pdf

Keyword : 3D、SEM、リアルタイム、裸眼

本成果の元となった開発課題

この課題の詳細はこちら Icon_pdf  (日本語版) 先端計測成果集より
開発課題名 リアルタイムステレオSEMの開発
チームリーダー 伊東 祐博((株)日立ハイテクノロジーズ 統括主任技師)
参画機関 新潟大学、(株)ナナオ
開発期間 平成21年〜23年度
開発概要 既に開発されたプロトタイプ機は、高倍率のリアルタイムステレオ観察実現のため、軸外収差を低減させる電子光学系(収差低減光学系)技術を採用しています。しかし、収差低減光学系を設定するには多くのマニュアル操作を必要とし、操作性に課題があります。本開発では、主にこの課題を解決するためグラフィカル・ユーザー・インターフェース(GUI)を含めた収差低減電子光学系設定の制御ソフト作成、電子光学系の構成見直しと共に、裸眼対応高解像度立体表示装置の開発を行います。



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