開発成果　－研究成果展開事業【先端計測分析技術・機器開発プログラム】

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リアルタイムステレオSEM（SU３５００形）
走査電子顕微鏡（SEM）のリアルタイム3Ｄ観察を可能に
リアルタイムステレオSEM（SU３５００形）

メーカー名 :
（株）日立ハイテクノロジーズ

製品の紹介（特徴など） :
試料最表面の微細形状観察や、試料ダメージの軽減に有効な、低加速電圧観察時の分解能を向上させ、ライブステレオ観察も可能とする新しいＳＥＭです。

　製品情報URL :
　http://www.hitachi-hightech.com/jp/product_detail/?pn=em-su3500

Keyword : 3Ｄ、SEM、リアルタイム、裸眼
リアルタイムステレオSEM（SU３５００形）: この課題の詳細はこちら　 (日本語版) 先端計測成果集より
開発課題名リアルタイムステレオSEMの開発 チームリーダー伊東　祐博（（株）日立ハイテクノロジーズ　統括主任技師） 参画機関新潟大学、静岡大学、EIZO（株） 開発期間平成21年～23年度 開発概要走査電子顕微鏡（SEM）でステレオ（3D）観察を行うためには、右目で見たときと左目で見たときに相当する静止画像（視差画像）を、試料台を傾けて異なる角度からそれぞれ取得してから合成し、赤青メガネなどをかけて観察する必要があった。しかし、視差画像の調整や取得に時間がかかるため、リアルタイムの3D観察が出来ないという課題があった。本開発では、リアルタイムの3D観察のため、これらの技術（[1]電子線傾斜制御技術、[2]3D表示技術、[3]収差低減技術）についての開発を行う。

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開発課題名	リアルタイムステレオSEMの開発
チームリーダー	伊東　祐博（（株）日立ハイテクノロジーズ　統括主任技師）
参画機関	新潟大学、静岡大学、EIZO（株）
開発期間	平成21年～23年度
開発概要	走査電子顕微鏡（SEM）でステレオ（3D）観察を行うためには、右目で見たときと左目で見たときに相当する静止画像（視差画像）を、試料台を傾けて異なる角度からそれぞれ取得してから合成し、赤青メガネなどをかけて観察する必要があった。しかし、視差画像の調整や取得に時間がかかるため、リアルタイムの3D観察が出来ないという課題があった。本開発では、リアルタイムの3D観察のため、これらの技術（[1]電子線傾斜制御技術、[2]3D表示技術、[3]収差低減技術）についての開発を行う。