開発成果　－研究成果展開事業【先端計測分析技術・機器開発プログラム】

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裸眼3D液晶モニタ（FDF2301-3D)
走査電子顕微鏡（SEM）のリアルタイム3Ｄ観察を可能に
裸眼3D液晶モニタ（FDF2301-3D)

メーカー名 :
（株）ナナオ

製品の紹介（特徴など） :
SEM (走査電子顕微鏡)や半導体検査装置に適した高い奥行きの再現性を実現した裸眼3Dモニターです。

　製品情報URL :
　http://www.eizo.co.jp/company/news/2010/NR10-031.pdf

Keyword : 3Ｄ、SEM、リアルタイム、裸眼
裸眼3D液晶モニタ（FDF2301-3D): この課題の詳細はこちら　 (日本語版) 先端計測成果集より
開発課題名リアルタイムステレオSEMの開発 チームリーダー伊東　祐博（（株）日立ハイテクノロジーズ　統括主任技師） 参画機関新潟大学、（株）ナナオ 開発期間平成21年～23年度 開発概要既に開発されたプロトタイプ機は、高倍率のリアルタイムステレオ観察実現のため、軸外収差を低減させる電子光学系（収差低減光学系）技術を採用しています。しかし、収差低減光学系を設定するには多くのマニュアル操作を必要とし、操作性に課題があります。本開発では、主にこの課題を解決するためグラフィカル・ユーザー・インターフェース（ＧＵＩ）を含めた収差低減電子光学系設定の制御ソフト作成、電子光学系の構成見直しと共に、裸眼対応高解像度立体表示装置の開発を行います。

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開発課題名	リアルタイムステレオSEMの開発
チームリーダー	伊東　祐博（（株）日立ハイテクノロジーズ　統括主任技師）
参画機関	新潟大学、（株）ナナオ
開発期間	平成21年～23年度
開発概要	既に開発されたプロトタイプ機は、高倍率のリアルタイムステレオ観察実現のため、軸外収差を低減させる電子光学系（収差低減光学系）技術を採用しています。しかし、収差低減光学系を設定するには多くのマニュアル操作を必要とし、操作性に課題があります。本開発では、主にこの課題を解決するためグラフィカル・ユーザー・インターフェース（ＧＵＩ）を含めた収差低減電子光学系設定の制御ソフト作成、電子光学系の構成見直しと共に、裸眼対応高解像度立体表示装置の開発を行います。