| 1989年 | 日本結晶成長学会論文賞 |
| 1991年 | 中日文化賞 |
| 1994年 | オプトエレクトロニクス会議特別賞、
日本結晶成長学会創立20周年記念技術貢献賞 |
| 1995年 | 化合物半導体国際シンポジウム賞およびHeinrich Welker Gold Medal |
| 1996年 | IEEE/LEOS Engineering Achievement Award |
| 1998年 | 井上春成賞、Laudise Prize、応用物理学会賞、C&C Prize、
IEEE Jack A. Morton Award、Rank Prize |
| 1999年 | ECS Solid State Science & Technology Award |
| 2000年 | 東レ科学技術賞 |
| 2001年 | 朝日賞 |
| 2002年 | 応用物理学会業績賞、藤原賞、武田賞 |
| 2003年 | 日本学術会議会長賞、SSDM Award |
| 2004年 | 東海テレビ文化賞、第1回P&Iパテントコンテスト |
| 2006年 | TMS John Bardeen Award、日本結晶成長学会業績賞 |
| 2007年 | 日本学術振興会「ワイドギャップ半導体光・電子デバイス第162委員会」特別功績賞 |
| 2009年 | 京都賞 |
| 2011年 | IEEE Edison Medal、知的財産特別貢献賞、南日本文化賞・特別賞 |
| 2014年 | 恩賜賞・日本学士院賞 |
