高柳 邦夫
東京工業大学 大学院理工学研究科 教授
http://wwwsurf.phys.titech.ac.jp/

　従来、電子顕微鏡の分解能はレンズの収差により制限されていました。本提案では、照射系と結像系の両方に収差補正レンズを搭載し、冷陰極電界放出型電子銃から出たエネルギーの揃った電子を利用して、水素原子半径に等しい0.05nmの分解能をもつ電子顕微鏡を開発します。これは英米で開発された装置をしのぐ、世界最高の分解能であり、炭素、窒素、酸素などの軽元素の位置や挙動を調べることが可能になります。