研究成果

平成20年度採択研究代表者

代表者名	研究テーマ
遠藤　哲郎	縦型ボディーチャネルMOSFETとその集積プロセスの開発 H20年度、 H21年度、 H22年度、中間評価結果、 H23年度、 H24年度
木下　博雄	コヒーレントEUV光を用いた極微パタン構造計測技術の開発 H20年度、 H21年度、 H22年度、中間評価結果、 H23年度、 H24年度
鳥海　明	Ge High－k CMOSに向けた固相界面の理解と制御技術の開発 H20年度、 H21年度、 H22年度、中間評価結果、 H23年度、 H24年度
前川　禎通	数値シミュレーションによる新材料・新機能の開発 H20年度、 H21年度、 H22年度、中間評価結果、 H23年度、 H24年度
松井　真二	超高速ナノインプリントリソグラフィ技術のプロセス科学と制御技術の開発 H20年度、 H21年度、 H22年度、中間評価結果、 H23年度、 H24年度