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「独創的シーズ展開事業　独創モデル化」
平成１７年度採択課題　事後評価報告書

平成１８年１０月

独立行政法人科学技術振興機構
科学技術振興審議会技術移転部会
独創モデル化評価委員会


６． 研究開発課題の個別評価
　18 高強度ナノ結晶合金を用いた超高密度マイクロコンタクトアレイとマスクの実用化

企業名 ：株式会社　ニースラボラトリーズ
研究者（研究機関名） ：山崎　徹（兵庫県立大学）

１） モデル化の概要および成果
　電解析出法により開発された高強度・高靱性・高バネ性を有するナノ結晶Ｎi-Ｗ合金を用いて、その電析条件、合金組織および機械的特性に関するデータベース化を行うと共に、微小回路線幅・電子部品を印刷法で作成するのに必要な高密度・高耐久性メタルマスク、並びに高密度・最短距離実装で搭載され、高温下でも安定な超高密度マイクロコンタクトアレイのモデル化を行った。
　メタルマスクとして開口部２５μm×２５μm、メッシュ線幅１０μm、 周期３５μmのメッシュ形状のものが試作できた。また、接点密度が１００接点／cm2で、1コンタクター２,２０９接点／(４７mm×４７mm)の3次元マイクロ成形したコンタクターを試作し、目標値を超えた成果を得た。さらに最終的に、接点密度が１,０００接点／cm2を超えた２次元超高密度コンタクトアレイのモデル化に成功した。
２） 事後評価
1 モデル化目標の達成度
　一部課題は残っているが、モデル化目標は概ね達成された。
2 知的財産権等の創出
　現時点での出願はない。
3 企業化開発の可能性
　企業化に必要なデータは得られ、一部の残された課題に関しても今後開発体制の見直し等で解決可能であり、今後の企業化の可能性は高い。
4 新産業、新事業創出の期待度
　技術的内容や現到達度から企業化の可能性は高いが、その為には早期の課題解決が必要と考える。
３） 評価のまとめ
　モデル化計画時の目標について一定の達成度は認められた。今後は企業化に向けて類似技術に経験の深い企業との協力なども含めて、今後も引き続き研究を進めていただきたい。

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