開発成果　－研究成果展開事業【先端計測分析技術・機器開発プログラム】

エリプソ式膜厚測定装置RE-3100/3300シリーズ
エリプソ式膜厚測定装置RE-3100/3300シリーズ

メーカー名 :
（株）SCREENセミコンダクターソリューションズ

製品の紹介（特徴など） :
光干渉方式による測光プロファイルから概要膜厚値を求め、最適な測定方法を自動で判断し、誰でも簡単に信頼性の高い測定が可能です。

　製品情報URL :
　https://www.screen.co.jp/spe/products/re-3500
エリプソ式膜厚測定装置RE-3100/3300シリーズ
開発課題名太陽電池モジュール高精度インライン計測評価装置の開発 チームリーダー藤原　裕之　（岐阜大学　工学部　教授） 参画機関大日本スクリーン製造（株） 開発期間平成２３～平成２６年度 開発概要薄膜シリコン太陽電池モジュールの高効率化・低コスト化による飛躍的な普及拡大を目的とし、太陽電池構成層の非破壊・高精度評価が可能な分光エリプソメトリー技術を駆使したモジュール製造時のインライン評価技術と、太陽電池モジュールの局所太陽電池特性を直接評価可能な計測評価装置を新たに開発し、大面積モジュールに対する構造評価技術を太陽電池特性評価技術と統合した高精度インライン計測システムの構築を目指す。

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開発課題名	太陽電池モジュール高精度インライン計測評価装置の開発
チームリーダー	藤原　裕之　（岐阜大学　工学部　教授）
参画機関	大日本スクリーン製造（株）
開発期間	平成２３～平成２６年度
開発概要	薄膜シリコン太陽電池モジュールの高効率化・低コスト化による飛躍的な普及拡大を目的とし、太陽電池構成層の非破壊・高精度評価が可能な分光エリプソメトリー技術を駆使したモジュール製造時のインライン評価技術と、太陽電池モジュールの局所太陽電池特性を直接評価可能な計測評価装置を新たに開発し、大面積モジュールに対する構造評価技術を太陽電池特性評価技術と統合した高精度インライン計測システムの構築を目指す。