開発成果　－研究成果展開事業【先端計測分析技術・機器開発プログラム】

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高分解能走査型プローブ顕微鏡SPM-8000FM
新世代の走査型プローブ顕微鏡システム
高分解能走査型プローブ顕微鏡
SPM-8000FM

メーカー名 :
（株）島津製作所

製品の紹介（特徴など） :
大気中・液中においても真空中と同様の超高分解能での表面観察を可能にしました。

　製品情報URL :
　http://www.shimadzu.co.jp/news/press/n00kbc000000405j.html

　Keyword : 走査型プローブ顕微鏡、SPM、AFM、実用環境、原子分子スケール、構造観察、物性計測
高分解能走査型プローブ顕微鏡 SPM-8000FM: この課題の詳細はこちら　 (日本語版) 先端計測成果集より
開発課題名大気中・液中で動作する原子分解能分析顕微鏡 チームリーダー粉川　良平　（（株）島津製作所　分析計測事業部　課長） 参画機関京都大学、金沢大学、北陸先端科学技術大学院大学、大阪大学、神戸大学 開発期間平成17年～22年度 開発概要大気中や液中などの環境下において、金属、半導体、絶縁体、有機材料などの構造・機能物性評価が原子・分子スケールで可能な原子分解能分析顕微鏡を開発します。本開発では、熱ドリフトの影響を補正するアトムトラッキング技術や試料表面の特定位置の電子状態を分析するバイアス-フォースカーブ技術等の要素技術を開発し、原子・分子分解能での表面原子・分子の組成、電荷移動、結合状態などに関する知見を与える分析顕微鏡を実現します。

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開発課題名	大気中・液中で動作する原子分解能分析顕微鏡
チームリーダー	粉川　良平　（（株）島津製作所　分析計測事業部　課長）
参画機関	京都大学、金沢大学、北陸先端科学技術大学院大学、大阪大学、神戸大学
開発期間	平成17年～22年度
開発概要	大気中や液中などの環境下において、金属、半導体、絶縁体、有機材料などの構造・機能物性評価が原子・分子スケールで可能な原子分解能分析顕微鏡を開発します。本開発では、熱ドリフトの影響を補正するアトムトラッキング技術や試料表面の特定位置の電子状態を分析するバイアス-フォースカーブ技術等の要素技術を開発し、原子・分子分解能での表面原子・分子の組成、電荷移動、結合状態などに関する知見を与える分析顕微鏡を実現します。