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図2.描画テストパターンの一例
(0.7mmガラス基板に液体ポジレジストを塗布して露光を行い、現像したもの。線幅10μm、20μm)

図2.描画テストパターンの一例(0.7mmガラス基板に液体ポジレジストを塗布して露光を行い、現像したもの。線幅10μm、20μm