東京農工大学,科学技術振興機構(JST)

令和6年3月5日

東京農工大学
科学技術振興機構(JST)

厚さ100ナノメール級の極めて薄い赤外線吸収メタサーフェスを実現

~熱マネジメントやイメージング、そして新たな作製技術は次世代情報通信デバイスへも~

東京農工大学大学院工学府 電子情報工学専攻の朝田 晴美 氏(博士課程3年、日本学術振興会 特別研究員)、同 大学院 工学研究院 先端電気電子部門の鈴木 健仁 准教授(JST 創発研究者)は、極めて薄い赤外線吸収メタサーフェスを実現しました。厚さ100ナノメートルの誘電体膜を用い、表に金の正方形パッチ、裏に金の膜を設けています。厚さ100ナノメートルの誘電体膜の表と裏の両面に金属構造を作製する技術は、文部科学省「ナノテクノロジープラットフォーム事業」(現「マテリアル先端リサーチインフラ事業」)の支援(No.F-20-IT-0017)を受けて、東京工業大学 微細加工プラットフォームにおいて生み出された両面同時電子ビーム露光法を用いています。両面同時電子ビーム露光法は、熱放射の制御に向けた赤外域のメタサーフェスの作製への応用や、6G(Beyond 5G)通信のさらに次世代の7G通信でのテラヘルツ波帯アンテナの作製への応用も進んでいます。

本研究成果は、米国光学会「Optics Letters」に2024年3月5日(日本時間)に掲載されました。

本研究の一部は、日本学術振興会(JSPS) 特別研究員奨励費(21J22822)、科学技術振興機構(JST) 創発的研究支援事業(井村パネル)における研究課題「テラヘルツギャップを切り拓く人工構造材料の深化と7G通信への展開」(JPMJFR222I)、文部科学省 科学研究費 補助金基盤研究(B)(21H01839)、中部電気利用基礎研究振興財団の支援により行われました。また、本研究の一部は、文部科学省「ナノテクノロジープラットフォーム事業」(現「マテリアル先端リサーチインフラ事業」)(課題番号F-20-IT-0017)の支援を受けて、東京工業大学 微細加工プラットフォームにおいて実施されました。

<プレスリリース資料>

<論文タイトル>

“Ultrathin metasurface on 100 nm-thick dielectric membrane absorbs infrared rays”
https://opg.optica.org/ol/fulltext.cfm?uri=ol-49-6-1409&id=547567

<お問い合わせ先>

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