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ナノ構造を制御しその特長を活かした新材料や高機能デバイスへの応用およびその要素技術、そのシステム化技術 |
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ナノ製造技術に基づいたMEMSや流体素子、NEMSデバイス |
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ナノ構造を制御しその特長を活かした有機・無機・金属・半導体・バイオ材料およびそれらの融合体によってもたらされる新材料・デバイスの革新的生産技術 |
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ナノ材料プロセスの高度化・高速化技術やナノレベルでの表面新機能・高性能化加工技術の研究 |
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革新的ナノ構造観察法の開発とそれに基づく新材料・プロセスの創製への展開 |
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製造管理につながるナノ計測・検査技術 |