 |
 |
シリコン視覚システムLSI |
|
 |
生物の脳視覚系を模倣した情報処理原理に基づき、シリコン網膜と、プログラマブルな画像処理ボードにより視覚デバイスを構成しました。特長は、平滑化と輪郭強調、動き検出をシリコン網膜によりリアルタイムで実行可能で、視覚環境の変化に対して安定した画像処理が可能なことです。 |
 |
 |
 |
 |
誘電泳動インピーダンス測定による水中微生物検出法 |
|
 |
誘電泳動現象により細菌を濃縮し、濃縮した細菌を電気インピーダンスにより検出する、有害微生物の迅速簡便な検出方法を開発しました。これは誘電泳動インピーダンス計測法(Dielectrophoretic Impedance Measurement)とよばれ、菌濃縮により検出の迅速化および高感度化を実現しました。 |
 |
 |
|  |
 |
 |
歪SOIウエーハの欠陥検出とその制御 |
|
 |
物理的微細化に起因する高速・低消費電力化限界をウェーハ側から革新するため、歪Si/SiGe/SOIの構造から成る歪SOIウェーハを開発し、デバイスで2倍の高速・低消費電力化を実現しました。
|
 |
 |
 |
 |
マイクロ研削工具の開発とメカニカルマイクロファブリケーションへの応用 |
|
 |
超精密半導体製造技術を駆使したLIGAプロセスの露光プロセスをマイクロ研削に置換した、メカニカルマイクロファブリケーションシステムの開発を行いました。高速電鋳技術を開発できたとともに□50μmのマイクロコラムとその反転金型を試作しました。
|
 |
|