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４−４ 熊本県
◆（参考３）フェーズI における研究項目と実施体制 |
| 研究項目 |
実施機関 |
主担当者 |
国費負担研究費（千円) |
| 超精密高速ステージ開発 |
（株）熊本ﾃｸﾉﾛｼﾞｰ、熊本大学、東北大学、（株）アラオ、太平洋セメント（株）、長岡総合技術大学、（株）日本セラテック、独立行政法人産業技術総合研究所セラミックス研究部門、
熊本県工業技術センター、オオクマ電子（株） |
小坂光二
（（有）熊本テクノロジー） |
257,445 |
| ３次元形状計測手法開発 |
（株）東芝ｾﾐｺﾝﾀﾞｸﾀｰ社、（株）トプコン、新電元熊本テクノリサーチ（株）、（有）熊本ﾃｸﾉﾛｼﾞｰ、崇城大学、熊本大学 |
三好元介
（（株）東芝セミコンダクター社） |
172,265 |
| プローバ高周波計測技術開発 |
（有）熊本ﾃｸﾉﾛｼﾞｰ、（株）東京ｶｿｰﾄﾞ研究所、熊本大学、熊本県工業技術ｾﾝﾀｰ、三菱電機（株） |
神立信一
（三菱電機（株）） |
11,195 |
| エッチング異常放電監視法開発 |
（財）くまもとテクノ産業財団電子応用機械技術研究所、（株）東京カソード研究所、九州日本電気（株）、日本電気（株）、熊本県工業技術センター |
神鷹敏充
H11〜H12
児玉昭和
H13〜
(九州日本電気（株）) |
19,091 |
| レジスト塗布・現像プロセス開発 |
（財）くまもとテクノ産業財団電子応用機械技術研究所、東京エレクトロン九州（株）、東京エレクトロン（株）、日本ゼオン（株）、熊本大学、熊本県工業技術センター |
吉岡和敏
(東京エレクトロン九州（株）) |
4,282 |
| 次世代実装対応めっき技術研究開発 |
（財）くまもとテクノ産業財団電子応用機械技術研究所、緒方工業（株）、広島大学、熊本県工業技術センター、凸版印刷?、（株）ロジックリサーチ、熊本大学、熊防メタル（株）、日本ゼオン（株） |
土岐荘太郎
(凸版印刷（株）) |
55,763 |
| 液晶光プローバ開発 |
(財)くまもとテクノ産業財団電子応用機械技術研究所、（株）ヤマックス、熊本大学、櫻井エンジニアリング（株）、（株）アラオ、オオクマ電子（株）、（株）ＡＤＩ |
廣瀬諭
(（株）ＡＤＩ) |
77,527 |
| 微細加工・計測技術開発 |
ソニーセミコンダクタ九州（株）、テクノス（株）、（株）ＡＤＩ、熊本大学 |
中村一光
(（財）くまもとテクノ産業財団) |
133,157 |
| 合 計 |
730,725 |
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