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<参考図>

図1

図1 4大材料における原子・分子レベル薄膜堆積制御の状況

 金属、半導体、セラミックスの無機系材料については、すでに原子・分子を一層一層制御して薄膜堆積することに成功しており、それによって著しい特性の向上や新機能発見がなされている。本研究では、最後に残された有機系材料で、リアルタイムで分子を一層一層制御して薄膜堆積することに成功した。