機構報第258号
開発を終了した課題の評価
| 課題名 | 「精密加工機用精度改善ユニット」 | ||||||
| 研究者 | 東京大学大学院工学系研究科教授 樋口俊郎 | ||||||
| 所有者 | 株式会社ナノコントロール、科学技術振興機構 | ||||||
| 委託企業 | 株式会社ナノコントロール | ||||||
| 開発費 | 104,183,046円 | ||||||
| 開発期間 | 平成１５年３月～平成１７年９月 | ||||||
| 評価 |
本新技術は、歪ゲージを用いた高感度・高剛性・高安定な動力計により、加工中の負荷を検出しながら、圧電アクチュエータを用いた負荷補償部をフィードバック制御することで、加工精度を向上できる精密加工機用加工精度改善ユニットに関するものである。 本開発では、ゲージ率の大きな歪ゲージと歪拡大機構を組み合わせることで、動力計の高感度化、高剛性化、高安定化が、発生力の大きな積層型圧電アクチュエータと平行ヒンジバネ構造のガイド機構を組み合わせることで、負荷補償部の高剛性化、高分解能化が可能となった。フィードバック制御系を構築したユニットを精密加工機に装着することで、表面粗さサブミクロンまでの改善を実現した。 本新技術は、精密加工機へ装着することにより、安価に加工精度を改善することができる。また、本新技術の動力計は、自由曲面加工時の加工開始点の検出、切削抵抗の測定やナノインプリンティング等一定荷重測定を必要とする装置の力センサとしての利用が期待される。 | ||||||
| 評価者 |
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| 評価日 | 平成１７年１２月１３日 | ||||||