固体表面に比較的高い温度で気体の分子・原子を吸着させ、拡散させた後温度を下げることにより一次元的、あるいは二次元的に配列させることができます。
後から蒸着された金属原子に対して気体の分子・原子の存在するサイトと存在しないサイトは明らかに異なるポテンシャルを与えます。
気体の分子・原子の存在するサイトのポテンシャルが低い場合は接着剤として、高い場合にはマスクとして働くことになります。

B-1固体表面のステップ構造の利用 を参照