大気圧ＩＣＰ用プラズマジェットを用いた自動イグニッション装置の開発

　本課題は半導体製造プロセスにおけるレジスト除去を行う大気圧ＩＣＰ装置に関する。ＩＣＰは無電極放電であるため、従来はタングステンを使った手動の初期点火などが行われていたが、金属汚染すること、手動であること、などの問題があった。この問題を解決するには、プラズマ自動発火装置が必要であるが、本課題の小型プラズマジェットを用いることで、安定なプラズマを発生することができる。

　既に小型プラズマジェットの試作を行っていたが、大気圧ICP装置に組込んだ試作機を作成して、大気圧ICP装置が安定に動作することを確認する必要があった。

　「目利きレポート」で、主に半導体洗浄装置の世界市場に関する調査結果を報告するとともに、「つなぐしくみ」で提供する技術加工費により、大気圧ICP装置に小型プラズマジェットを組込んだ試作機を作成し、その結果、大気圧ICP装置が安定に動作することが確認できた。

リバーベル社との特許ライセンス契約が実現した。現在、メーカとの共同開発が開始されている。

（作成日：平成22年3月31日）