つなぐしくみ申請 H19年6月 |
本技術は新型リニアモータを組み込んだ移動ステージに対し、超精密位置決め機構の非線形ばね特性を、ブラシモデルを用いて構成し、移動ステージの推力補正をすることによって高精度位置決めを達成するものである。走行部はリニアガイドを用い、400mm/sの速度を有する系でステージを移動させながら、200mmストローク、0.1nm未満の位置決め精度と分解能を達成することを目的とする。
申請時点では、基本的な研究を進めていたが、本技術をより実用化に近づけるためにはさらにデータ採取し検証すべき事項があった。すなわちリニアボールガイドのモデル化、制御系の改造検証、振動などの周囲の環境整備など、試験検証すべき事項があった。これら諸事項に関する開発支援と、技術移転のための市場調査、特許調査、ライセンス先企業の探索を希望して「つなぐしくみ」へ応募があった。
(作成日:平成22年3月31日)