- 液中パルスプラズマ発生用電源
栗田製作所
小間番号 | 展示 J18-18 |
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出展概要
SiCパワーデバイスの高速スイッチング動作を活かした、300kHzの高周波パルス電源を開発いたしました。流水型プラズマ発生装置を接続して、実演展示を行います。
JST支援プログラム名称・期間
スーパークラスタープログラム(京都地域スーパークラスター)・平成25年度~平成29年度
共同研究者情報
- 大阪大学 大学院工学研究科 電気電子情報工学専攻
栗田製作所
小間番号 | 展示 J18-18 |
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SiCパワーデバイスの高速スイッチング動作を活かした、300kHzの高周波パルス電源を開発いたしました。流水型プラズマ発生装置を接続して、実演展示を行います。
スーパークラスタープログラム(京都地域スーパークラスター)・平成25年度~平成29年度