- 大面積電子線描画装置による高出力電界放出源の試作研究
ナノックスジャパン
出展分野 | ナノテクノロジー・材料 |
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支援プログラム名称 | 文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム |
小間番号 | 展示 E-30 |
出展概要
冷陰極電子源の産業利用を進めるために、高出力化、高信頼性化を達成するため、ナノテク東大拠点のEB Lithography装置やプラズマエッチング装置を用いて冷陰極チップを試作し、同じく東大武田先端知クリーンルーム内に導入した装置によって、試作した新規素子の性能を検証中です。素子サンプルならびにポスター展示を行います。
共同研究者情報
東京大学
大規模集積システム設計教育研究センター
微細加工プラットフォーム実施機関 准教授・マネージャ 三田吉郎