- (100)Si基板上の無極性面ZnO層による純紫外域・緑色LEDの試作
(株)コメット 基礎研究部 代表取締役社長 鈴木 摂
出展分野 | ナノテクノロジー・材料 |
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支援プログラム名称 | A-STEP(研究成果最適展開支援プログラム) シーズ育成タイプ 開発期間:平成23年度~平成26年度 |
小間番号 | 展示 A-33 |
出展概要
(100)Si表面に立方晶の硫化物(MnS)層をエピタキシャル成長し、さらにGaNキャップ層を設け無極性GaN・ZnO層のエピタキシャルテンプレート層とした。このテンプレート層上にMOCVD法によって (1120)面ZnO層を成長し、NOガスによる窒素添加によってp型層を得、ZnO pn接合を形成した。LED構造を作成し、無極性面ZnO 層からの380 nm 純紫外域注入発光を世界で初めて得た。さらに発光層をi-ZnCuO混晶に置き変え、純緑色注入発光を得た。
共同研究者情報
物質・材料研究機構/ 東京大学
MANAナノエレクトロニクス材料ユニット
MANA半導体デバイス材料グループ ユニット長 知京 豊裕