出展概要

半導体やエネルギー産業で用いるクリーンガス中の微小水分測定において、既存センサの感度と応答時間には課題がある。そこで、球の弾性表面波（SAW）のコリメートビームを利用した直径3mmのボールSAWセンサを用いて、露点－80℃（濃度0.54ppm）以下の水分が1分以内に測定できる微量水分計を開発した。

JST支援プログラム名称・期間

JST　STARTプログラム

共同研究者情報

• 東北大学　未来技術共同研究センター; NICHe　山中プロジェクト　教授　山中一司

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