イノベーションシステム整備事業

先端融合領域イノベーション創出拠点形成プログラム

Creation of Innovation Centers for
Advanced Interdisciplinary Research Areas Program

拠点形成

5年程度の比較的短期的な実用化を目指すのではなく、概ね10年~15年先を見通し、
革新的な技術の開発並びに新産業の創出などの大きな社会・経済的なインパクトをもたらす可能性がある
先端融合領域において、世界的な研究拠点を形成する

平成19年度採択
 国立大学法人 東北大学 『マイクロシステム融合研究開発拠点』
http://www.rdceim.tohoku.ac.jp

MEMS技術とLSI技術の融合によるマイクロシステムヘテロインテグレーション技術の開発

実施機関
国立大学法人 東北大学
実施期間
平成19年度〜28年度
総括責任者
里見 進 (東北大学 総長)
研究者(代表)
小野 崇人 (大学院工学研究科 教授)
所在地
宮城県仙台市青葉区片平2-1-2
TEL
022-717-7800
FAX
022-229-4115
協働機関
㈱リコー、 ㈱トッパン・テクニカル・デザインセンター、 ㈱メムス・コア、 ㈱北川鉄工所、 住友精密工業㈱、トヨタ自動車㈱、 日本信号㈱、 日本電産コパル電子㈱、 日本電波工業㈱、 メムザス㈱、 ㈱豊田中央研究所、 ニッコー㈱、 日本航空電子工業㈱、 古河電気工業㈱、 ㈱デンソー、 ㈱クレステック

最先端LSI技術とMEMS技術とを融合し、LSIの微細化追求からのパラダイムシフト(More than Moore)を起こし、安全・安心・健康を実現できる社会システムを支える高度なマイクロシステムを実現する。そのため、5つの研究グループで研究開発が実施される(協働体制図参照)。複数の企業・研究機関が協働で研究開発できる施設面・知財面(パテントバスケット)・研究開発システム(乗合ウェハ)をシステム改革として整備し、開かれた「場」を構築して「産産学連携」を大学の知を触媒として実施することで国際的に強い産業競争力を生み出す拠点を構築する。また、社会人を対象としたMEMS集中講義や実習プログラムの実施、アジア初の戦略的連携協定によるIMECなどの海外研究機関への研究者の派遣などで本拠点を担える人材育成も実施している。