| チームリーダー ： | 長 康雄 【東北大学 電気通信研究所 教授】 |
| 中核機関 ： | 東北大学 |
| 参画機関 ： | エスアイアイナノテクノロジー株式会社 富士通株式会社 |
- Ⅰ．開発の概要
- 静電容量変化に対する高い感度とサブナノメータの空間分解能を持ち、線形・非線形誘電率の分布が計測可能な走査型非線形誘電率顕微鏡（SNDM）法を発展させ、従来にない高機能複合型SNDMシステムを開発する。本開発により、誘電材料中の分極、半導体中の電荷および高分子や生体の誘電特性とそれらに固定された電荷などが世界最高の性能で可視化でき、種々の材料・素子の評価・分析に大きく貢献することが期待される。
- Ⅱ．中間評価における評価項目
- （１）SNDM検出感度向上及び走査速度の高速化
- 検出プローブ、高速スキャン用FM復調系とも目標とした性能を達成した。
- （２）各タイプSNDM試作機の完成
- ３タイプのSNDM試作機は各々の目標とした解像度、分解能を達成した。超高真空SNDMについても目標とした真空度、解像度を達成した。
- （３）サンプル作成手法及びアタッチメントの製作
- フローティングゲート型フラッシュメモリーの固定電荷の可視化に成功した。
- Ⅲ．評価
- 静電容量変化に対する高い感度とサブナノメータの空間分解能を持ち、高感度に計測可能な走査型非線形静電容量顕微鏡（SNDM）法を発展させ、従来にない高機能複合型SNDMシステムを開発している。
- 本開発では、要素技術開発、装置開発並びに応用技術開発の各担当機関の連携が非常に良く取れていることが評価できる。今後は、測定により得られた情報内容の精査を進めると共に、ナノ物性計測機器として高性能な装置開発を目指し着実に推進すべきである。