瞬間結晶化によるガラス基板上への超高性能多結晶Si薄膜形成

大平 圭介

北陸先端科学技術大学院大学　グリーンデバイス研究センター　准教授

通常型　 ３年

http://www.jaist.ac.jp/ms/labs/ohdaira/home.htm

研究課題概要

フラッシュランプアニール(FLA)を用いた瞬間結晶化により、安価なガラス基板上に形成される、膜厚１μm以上の高品質多結晶シリコン(poly-Si)薄膜の結晶化は、周期凹凸構造を形成しながら平面方向に進行します。本研究では、この結晶化機構を明確化するとともに、周期構造と太陽電池特性との関連性を明らかにすることで、太陽電池用材料としての高品質化への指針を得て、効率１５％以上の低コスト薄膜poly-Si太陽電池を実現するための基盤技術を確立します。