生津 資大 （なまづ たかひろ）
兵庫県立大学 大学院工学研究科 准教授
http://www.eng.u-hyogo.ac.jp/mse/mse12/index.html
【研究課題概要】
本研究では、ナノ粒子生成のボトムアップ手法とMEMSプロセスのトップダウン手法とを融合させ、1秒未満で700℃相当の熱量を瞬間発生可能な発熱素材を創製し、これを熱源としたSiウェハの瞬間はんだ接着法の確立を目指します。Alナノ粒子にNiをナノコートしたAlNiナノカプセルを素材とし、本接着法により、ほぼ0Wのエネルギーでウェハを接着でき、低エネルギー・低コストな“エコ接着技術”としてCO2削減に貢献します。
