新開発の装置概略図
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アンテナの持つインダクタンスを極力低減させた小型ループアンテナに高周波電流を流すことにより高密度で基板へのダメージの少ない誘導結合プラズマを生成します。そして、このアンテナを複数本並べることで大面積化が容易に行うことができます。 ポリシリコン薄膜を形成する場合にはモノシランと水素の混合ガスによるプラズマを生成することで大型ガラス基板上にポリシリコン薄膜を堆積させます。この時、導入するガス流量や高周波電力によりプラズマ状態を制御し、ポリシリコン薄膜の膜構造を目的に応じて最適化することができます。 |