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新技術事業団(理事長 松平 寛通)は、豊橋技術科学大学教授 故中村哲郎氏、同助教授 石田誠氏らの研究成果である「高温用半導体圧力センサの製造技術」を当事業団の委託開発制度の平成4年度選定課題として平成5年3月から平成8年3月にかけて低圧用を株式会社長野計器製作所(社長 宮下 茂、本社 東京都大田区東馬込1-30-4、電話(03)3776-5311
、資本金2億4千万円)、高圧用を豊田工機株式会社(社長 大西 匡、本社 愛知県刈谷市朝日町
1-1、電話(0566)25-5111 、資本金 212 億円)に委託して開発を進めていたが、このほどそれぞれの開発を成功と認定した。(開発費:樺キ野計器製作所(低圧用)471百万円、豊田工機梶i高圧用)
483百万円)
半導体圧力センサは、小型、軽量、高性能であり、工業計器から医療機器まで広い分野で使用されているが、温度依存性があり、高温での特性劣化のため使用に限界があった。
本新技術では、シリコン上にアルミナの絶縁層を形成し、その上にシリコンを積層する構造(これを
SOI(Silicon On Insulator)構造という)を実現し、これを圧力センサに利用して、高温で圧力を安定して測定できる圧力センサを開発した。
本新技術によるセンサは、 300℃程度の高温下で安定して使用できるので、定格
100kPaの低圧用センサは化学プロセス、半導体製造装置を始めとするプロセス制御用等の分野で、また、定格1MPaの高圧用センサは自動車のエンジン圧力制御や樹脂成形加工の分野等で、広く利用が期待される。
・「高温用半導体圧力センサの製造技術(低圧用及び高圧用)」(背景・内容・効果)
(*) | 発表問い合わせ先:管理部管理課 | 内野、齋藤 | [電話(048)226-5625] | |
(企業連絡先) | ||||
株式会社長野計器製作所開発技術本部 | 丸野 尚彦 | [電話(0268)42-7530] | ||
豊田工機株式会社プロジェクトセンター | 太田 喜与資 | [電話(0566)22-7644] |
This page updated on April 14, 1999
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