| 課 題 名 | 「溶媒抽出法による混酸廃液からの酸回収装置」 | ||||||
| 研 究 者 | 関西大学工学部化学工学科 教 授 芝田 隼次 関西大学工学部化学工学科 助教授 山本 秀樹 | ||||||
| 所 有 者 | 芝田 隼次（関西大学工学部化学工学科 教授） 山本 秀樹（関西大学工学部化学工学科 助教授） | ||||||
| 委託企業 | 三和油化工業株式会社 | ||||||
| 開 発 費 | 147,301,833円 | ||||||
| 開発期間 | 平成14年2月～平成16年2月 | ||||||
| 評 価 | 本新技術は、半導体製造工場のエッチング処理工程において発生する混酸廃液から各酸を個別に分離回収するものである。本新技術では、高級アルコールまたはリン酸エステルによる抽出操作、酸による洗浄操作、水による剥離操作により各個別の酸を分離し、これを繰り返し廃液から酢酸、硝酸、フッ酸の各酸を順に回収する。各操作に用いるミキサー・セトラー抽出装置の翼車形状や回転数を最適化し、本装置を向流方向に多段に配置することにより、回収酸の高純度化と高収率を実現した。 本開発では、処理量50トン／月の40段実証プラントの運転において、連続して安定な分離回収が実証できた。ラボ装置から実証プラントまでの実験により、容量比で100倍までのスケールアップが実証され、さまざまな処理量の連続プラントの設計技術を確立することができた。 本新技術により、シリコンウエハー表面加工などのエッチング廃液から不純物の少ない酸を回収できるので、従来の廃酸中和処理工程が不要で、工場の廃液処理費用を軽減することができる。この技術は液晶製造工場や各種電子部品工場等の廃液処理に広く応用が期待される。 | ||||||
| 評 価 者 |
| ||||||
| 評 価 日 | 平成16年4月23日 | ||||||