【企業概要】
名称 | 株式会社大阪光科学技術研究所 | ||||||
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設立日 | 平成17年1月5日 | ||||||
本社 | 京都市下京区中堂寺粟田町93番地 | ||||||
資本金 | 1000万円 | ||||||
役員 |
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事業内容 |
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【事業形態】

【製品例】


主な仕様
測定範囲(高さZ) | 7mm | ||
測定範囲(視野X,Y) | 10μm~670μm | ||
表示分解能 | 10nm | ||
精度σ | 20nm | ||
対物レンズ | ×20、×50、×100 | ||
計測時機能 | ズーム機能 | ×1~×8(各対物レンズ設定時にて) | |
試料オートアプローチ | |||
計測時XY分解能(画素) | 250×250~1000×1000(上記視野XY範囲にて) | ||
計測時深度・3D像表示 | ユーザーPC(デスクトップ、ノート)WEBブラウザ使用 | ||
深度像連続表示更新最高速度 | 2秒 | ||
解析ソフト | 段差、断面プロファイル、表面積、体積等の解析 | ||
試料台 | XYステージストローク | 170mm×170mm | |
Zステージストローク | 25mm |
【観測例】


