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共同発表
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<参考図>
図1:NanoBridgeの動作模式図
NanoBridgeは固体電解質中でのナノ金属架橋の伸張を利用したスイッチで、小型・低オン抵抗を実現でき、LSI配線層に形成可能です。従来の固体電解質材料ではスイッチング電圧がLSIの動作電圧より小さいという課題がありました。今回、酸化タンタルを固体電解質に用いることでスイッチング電圧を改善しました。