量子分子動力学法に基づく化学反応対応型連成現象シミュレータの開発 久保　百司　（くぼ　ももじ） 東北大学大学院工学研究科附属エネルギー安全科学国際研究センター 教授 URL http://www.kubo.rift.mech.tohoku.ac.jp 【研究課題概要】 超微細化が進む半導体プロセスでは原子レベルでの化学反応を伴う連成現象の解明が必要です。本研究は量子分子動力学法と非平衡分子動力学法の統合化を行い、種々の連成現象を解明可能とする化学反応対応型連成現象シミュレータの開発を行うものです。本研究により、従来は不可能であった全く新しい製造プロセス設計、材料設計の実現を目指します。また、マルチスケールシミュレーションの実現にも貢献が期待できます。