ナノ製造技術の探索と展開
領域アドバイザー紹介
上田 修
Osamu Ueda, Professor, Synthesized Engineering,Graduate School of Engineering, Research Laboratory for Integrated Technological Systems, Kanazawa Insitute of Technolgy
写真
所属
 金沢工業大学大学院工学研究科高信頼ものづくり専攻 教授
 金沢工業大学ものづくり研究所
URL
 http://wwwr.kanazawa-it.ac.jp/orc/list/ueda.html
 http://wwwr.kanazawa-it.ac.jp/orc/
研究専門分野
 半導体デバイス物理、半導体結晶工学、デバイス信頼性工学、電子顕微鏡利用評価技術、ナノレベル分析評価技術
略歴
東京大学工学部物理工学科卒。
1974年 富士通研究所に入社。
1996年 同所基盤技術研究所主管研究員、材料技術研究所主管研究員、
1999年 材料・環境技術研究所ナノ電子材料研究部長、
2003年 環境材料ステーション長、
2004年 基盤技術研究所主席研究員を経て、2005年 金沢工業大学教授就任。
学会活動・受賞歴・著書等
2007年応用物理学会フェロー、
2003年第51回電気科学技術奨励賞(オーム技術賞)、
"Reliability and degradation of III-V optical devices", Artech House Publishers Inc., Boston/London (1996)、
"次世代デバイスに不可欠なナノ分析・評価技術"(解説),真空 第45巻 第11号, 2002年、
"ULSI開発に不可欠なナノレベル分析・評価技術",(総合報告)応用物理,第72巻, 第5号, 2003年

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