(独)科学技術振興機構 さきがけ研究員

電子線リソグラフィーによる炭素系ハイブリッド構造膜の創製と高機能化

電子線を用いた局所構造制御の原理を確立し、アモルファスカーボン薄膜中にグラファイトクラスター、カーボンオニオンやCNTなどの秩序化構造を導入した3次元的なハイブリッド構造膜を創製します。これらの構成ユニットの秩序性や次元性に起因した物性差に、サイズ効果と周期性および構造異方性とを組合せることで高機能化を実現し、新たな薄膜材料設計指針と形成プロセスの基礎を構築することを目指します。