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公募情報

「次世代の電子顕微鏡要素技術の開発」に関する研究開発課題の募集について

2007年5月7日公募締め切りました。
公募期間: 2007年3月30日〜2007年5月7日
公募分野: 「次世代の電子顕微鏡要素技術の開発」に関する研究開発課題

平成19年3月30日
文部科学省

 文部科学省では、次世代の電子顕微鏡開発のための要素技術を開発し、その実用化に向けて性能の高度化を図ることを目的として、委託事業を実施しています。このたび、平成19年度当該事業の研究開発課題の公募を開始しますのでお知らせいたします。

1.目的
 電子顕微鏡を利用した様々な研究開発分野の強いニーズと、電子顕微鏡技術開発における欧米との競争が激しい技術領域において、シーズ技術を生かして、5年から10年後を見据えた次世代の電子顕微鏡開発に対応するための要素技術を開発し、その実用化に向けて性能の高度化を図ることを目指します。

2.研究開発領域
 本事業では、以下の研究開発領域における要素技術について、3年以内の期間の研究開発課題を募集いたします。
1 コンピュータ制御による電子顕微鏡の自動化および制振技術に関する開発
 電子顕微鏡の高性能化や高機能化が進む一方、装置の取り扱いの複雑化や観測・分析結果にユーザーの使用経験やスキルが強く影響するなど、利用・応用上の課題が顕在化している。また電子顕微鏡のニーズがナノデバイスやバイオ分野などに広がっており、これに応えるためにはコンピュータ制御による自動化を促進し、操作の簡便化をはかることが不可欠となる。特に、生産ラインにおいて出荷前検査に透過電子顕微鏡(TEM)あるいは走査透過電子顕微鏡(STEM)が使用されることが多いが、観察時の振動に対する対策技術が確立されていないため、現状では生産ラインとは別の振動の少ない場所で検査が行われている。コンピュータにより自動制御された制振機能を組み込んだTEM(STEM)が開発され、生産ライン等の製造現場におけるその場観察が可能になれば、生産性向上とともに品質管理向上にも大きく資する。
 こうした高度に制御された安定性・信頼性の高い電子顕微鏡の実現に向け、コンピュータ制御による電子顕微鏡の操作の自動化および制振に関する技術開発を行う。

2 電子光学系の高度化に関する要素技術の開発
 材料・物質や微細化する電子デバイスなどの機能解明と特性や信頼性の向上のために、欠陥、表面、界面などの構造観察や元素分析、電子状態の詳細な解明が必要であり、原子1個の同定や欠陥の分析までを可能とする電子顕微鏡の電子光学系の性能を大幅に向上する要素技術の開発を行う。

3.公募の対象
公募の対象は、以下のとおりです。

 企業等の機関(産)と、大学あるいは独立行政法人等の研究機関(学あるいは官)の各機関が密接に連携することにより、将来の実用化を見据えた開発を行う「産学官連携チーム」を編成していただきます。公募の対象は「産学官連携チーム」となります。「産学官連携チーム」には、実際に電子顕微鏡の機器開発を担う機器メーカー等の参画が求められます。また、開発した要素技術は、実際に電子顕微鏡に組み込んだ上で性能の確認を行う必要があります。なお、申請は「産学官連携チーム」のチームリーダーが行うものとします。

4.公募期間
平成19年3月30日(金)〜平成19年5月7日(月)

5.スケジュール
平成19年 3月30日(金)  公募開始
5月 7日(月)  公募締切
〜6月(予定)  審査
7月(予定)  委託契約、事業開始

※詳細については、公募要領をご参照下さい。

公募要領(PDF:45KB)
様式(word:187KB) (PDF:47KB)

(問い合わせ先)
 研究振興局 基礎基盤研究課
 ナノテクノロジー・材料開発推進室 松下、寺澤
電話:03−6734−4100(直通)
03−5253−4111(内線4351、4354)