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公募情報(審査結果)

「次世代の電子顕微鏡要素技術の開発」に関する研究開発課題の採択について

プロジェクト名: 次世代の電子顕微鏡要素技術の開発
公募期間: 2006年4月28日〜2006年5月31日
公募課題: (1) 高輝度電子ビームの実現に関する要素技術の開発
(2) スペクトロスコピーの高度化に関する要素技術の開発
(3) 画像検出・記録系の高度化に関する要素技術の開発
(4) 動的な3次元観察・その場観察の実現に関する要素技術の開発

文部科学省では、電子顕微鏡を利用した様々な研究開発分野の強いニーズと、電子顕微鏡技術開発における欧米との競争が激しい技術領域において、シーズ技術を生かして、5年から10年後を見た場合に必要な次世代の電子顕微鏡開発に対応するための要素技術を開発し、その実用化に向けて性能の高度化を図ることを目的として、研究機関等に対し、研究開発課題の提案を公募しました。
この度、所要の審査を経て、研究開発課題が採択されましたので審査結果を発表します。

1.公募を実施した研究開発領域
本事業では、平成18年度は、下記の領域で3年以内の期間で研究開発課題を募集しました。

高輝度電子ビームの実現に関する要素技術の開発

 微細化が進む半導体デバイスや機能材料の高度化には、原子スケールでの詳細な構造解析や元素分析とともに構造内の電磁界分布評価が必要になる。原子スケールでの詳細な構造観察・分析には電子顕微鏡の基本性能の向上が不可欠であり、また構造内の電磁界分布の詳細な計測には電子線ホログラフィー技術の高度化が必要になる。これらの高度な観察・計測の実現のために、高輝度と単色性を兼ね備えた電子ビームを可能とする技術の開発を行う。

スペクトロスコピーの高度化に関する要素技術の開発

 電子線照射で発生したX線や散乱・回折された電子線を分析することで、対象とした試料の電子状態、結合状態などに関する情報を得るスペクトロスコピーは、電子顕微鏡の重要な機能である。材料やデバイスの機能・特性の詳細な解明やその向上に対応可能な分析機能の高度化を可能とする要素技術の開発を行う。

画像検出・記録系の高度化に関する要素技術の開発

 画像検出・記録系は電子顕微鏡に不可欠な要素であるが、観察性能向上とデータ処理の高度化には、広域を高倍率に構造解析可能とする検出器の大面積・高画素数化が必要であり、またリアルタイム処理や高速現象の観測を可能とすることが必要である。電子顕微鏡の機能・性能を向上するこれらの画像検出・記録系の開発を行う。

動的な3次元観察・その場観察の実現に関する要素技術の開発

 機能材料や生体材料観察の分野において、3次元構造解析や極低温観察、および多様な試料環境(加熱・冷却、応力付与、ガス雰囲気下など)の状態の静的・動的な観察が必要である。これらの観測・分析を原子・分子スケールの精度を保ちながら可能とするため、高度な機能を持つ試料ホルダーとその制御システムの開発とともに、高精度3次元立体像の再生など多様な情報を解析するソフトウェアの開発を行う。

2.研究開発課題の採択まで
「次世代の電子顕微鏡要素技術の開発」について、平成18年4月28日(金)から5月31日(水)の期間、一般公募を実施しました。
外部有識者からなる審査検討会において、1次審査で書面審査を実施し、2次審査でヒアリング審査を行いました。(別添1参照

3.採択した研究開発課題
審査検討会における検討に基づき、以下の研究開発課題を採択しました。(別添2参照
1 高輝度電子ビームの実現に関する要素技術の開発
課題名:「電子ビームの高輝度化・単色化に関する要素技術の開発」
チームリーダー名:外村 彰(独立行政法人 理化学研究所)

2 スペクトロスコピーの高度化に関する要素技術の開発
課題名:「TEM用マイクロカロリーメータ型X線検出システムの開発」
チームリーダー名:原 徹(独立行政法人 物質・材料研究機構)

3 画像検出・記録系の高度化に関する要素技術の開発
課題名:「大面積、高画素CCDによる電子顕微鏡用撮像システムの開発」
チームリーダー名:木村 吉秀(国立大学法人 大阪大学)

4 画像検出・記録系の高度化に関する要素技術の開発
課題名:「力覚制御による体感型3Dナノ解剖バイオ顕微鏡の開発」
チームリーダー名:牛木 辰男(国立大学法人 新潟大学)
課題名:「生体・病理組織の三次元ナノ構造解析国産ソフトウェアの開発」
チームリーダー名:鷹岡 昭夫(国立大学法人 大阪大学)

4.今後の予定
提案者に対しては、研究開発実施に当たって留意点、不採択理由等を付して審査結果を通知するとともに、速やかに採択課題の提案者と委託契約を結び研究開発を開始する予定です。
(お問い合わせ)
 研究振興局 基礎基盤研究課
 ナノテクノロジー・材料開発推進室 氏原、寺澤
 電話:03−6734−4100(直通)
03−5253−4111(内線4354)