フォトニック結晶によるコントローラブル光デバイスの研究開発
小型エリプソメータ
宮城県
育成研究
平成14年度
代表研究者:川上彰二郎(東北大学)
企業:(株)フォトニックラティス
フォトニック結晶アレイとCCDの組み合わせにより、駆動機構を排除した小型軽量で高精度なエリプソメータを開発。(株)フォトニックラティスより販売。