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プラスチックナット送りねじ |
協力機関/ |
ケーエスエス(株)、NTN精密樹脂(株) 他 |
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1ナノメータの分解能と精度で高速位置決めを達成。その過程で安価で小振動プラスチックナット送りねじを開発しました。「微小変位特性測定装置及び微小変位特性測定方法」で特許を出願しました。 |
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ロータリエンコーダの高精度校正システム |
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ロータリエンコーダを0.1秒の精度で校正できるシステムを開発しました。このシステムにより、高精度な基準を用いずに各種エンコーダの全目盛を高精度かつ全自動で校正できます。 |
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シリコンウエハ用超精密横型鏡面研削盤 |
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小型で高剛性を目的とした横型構造の超精密鏡面研削盤を開発しました。1ナノメートル分解能での研削切り込み制御と高精度制圧空気スピンドル搭載により、シリコンウエハ(6インチ)表面を超精密研削することが可能となりました。平成11年度独創的研究成果育成事業において「ニュータイプの横型超精密平面研削盤モデルの試作」が採択となりました。 |
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ワイヤレスシステム「PULSNET」 |
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電磁波やノイズが飛び交うオフィスや工場等の環境下で、デジタルデータを高品位、高セキュリティで伝送するSSワイヤレスシステムを開発。さらに、小型化、低価格化を実現させ「PULSNET」として商品化しました。 |
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