| 研究項目 |
実施機関 |
グループリーダ |
ＪＳＴ負担研究費
（千円) |
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超精密高速ステ−ジ開発
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（有）熊本テクノロジ-、（株）アラオ、
太平洋セメント（株）、（株）日本セラテック、
オオクマ電子（株）、（独）産業技術総合研究所、
熊本大学、東北大学、長岡総合技術大学、群馬大学、
熊本県工業技術センタ− |
小坂光二
（（有）熊本テクノロジー）
宮田昇
（（株）太平洋セメント）
森山司朗
（（株）日本セラテック） |
４６９，１００ |
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３次元形状計測手法開発 |
（有）熊本テクノロジ-、新電元熊本テクノリサーチ（株）、
（株）トプコン、（株）東芝セミコンダクタ-社、
（株）日立プラント、（株）セイブ、熊本大学、
崇城大学 |
山崎裕一郎
（（株）東芝セミコンダクタ-社） |
２３４，７００ |
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プロ−バ高周波計測技術開発 |
（有）熊本テクノロジ-（株）東京カソ−ド研究所、
三菱電機（株）、サンユ-工業（株）安藤電気（株）、
熊本大学、崇城大学、熊本県工業技術センタ− |
神立信一
（ルネサンステクノロジ-（株）） |
３７，１００ |
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プラズマ異常放電監視法開発 |
（株）東京カソ−ド研究所、九州日本電気（株）、
日本電気（株）、熊本県工業技術センタ−、
（財）くまもとテクノ産業財団電子応用機械技術研究所、
九州工業大学、東北大学 |
児玉昭和
（九州日本電気（株）） |
３３，５００ |
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レジスト塗布・現象プロセス開発 |
東京エレクトロン九州（株）、
日本ゼオン（株）、熊本県工業技術センタ−、
（財）くまもとテクノ産業財団電子応用機械技術研究所 |
吉岡和敏
（東京エレクトロン九州（株）） |
５２，５００ |
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次世代実装対応メッキ技術研究開発 |
緒方工業（株）、凸版印刷（株）、
（株）ロジックリサ−チ、熊防メタル（株）、
熊本防錆工業（株）、日本ゼオン（株）、
野田市電子（株）、広島大学、熊本大学、
熊本県工業技術センタ−、
（財）くまもとテクノ産業財団電子応用機械技術研究所 |
土岐荘太郎
（凸版印刷（株）） |
６６，７００ |
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液晶光プロ−バ開発 |
（株）ヤマックス、櫻井エンジニアリング（株）、
テクノス（株）、（株）アラオ、オオクマ電子（株）、
（株）ＡＤＩ、熊本大学、
（財）くまもとテクノ産業財団電子応用機械技術研究所、 |
山川昇
（櫻井エンジニアリング（株））
藤井敏夫
（テクノス（株）） |
１６０，９００ |
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微細加工・計測技術開発 |
ソニ-セミコンダクタ九州（株）、
（株）テクノス、（株）ＡＤＩ、（株）日本マイクロニクス、
凸版印刷（株）、三菱マテリアル（株）、（株）プレシ−ド、
ウシオ電気（株）、（株）ロジックリサ−チ、熊本大学、
（財）くまもとテクノ産業財団 |
中村一光
（（財）くまもとテクノ産業財団） |
２８４，２００ |
| 合 計 |
１，３３８，７００ |