2)新技術・新産業の創出
ZnOの特徴である 低温形成(室温〜200℃)が可能、 材料が豊富で安価、 簡単なプロセス装置の可能性、 ワイドギャップ半導体(光応用)などを活かした高性能TFT技術や透明導電膜等の開発で、ZnO高性能TFTを基にして、高精細ディスプレイ、高性能アクティブ電子ペーパー、ウエアラブル端末機器などの次世代情報デバイスの開発と事業化を目指し、その集積を図ることを目的として、次の4つの主要テーマで構成される研究開発を行う。
テーマ1: 新材料による高性能TFT技術の開発
ZnO(酸化亜鉛)等を用いて、従来のa−Si−TFTや、低温多結晶Si−TFTを凌駕する高性能TFTを作るための基盤的技術の開発
1−1: ZnO−TFT技術の開発
1−2: SiGe−TFT技術の開発
テーマ2: 次世代透明導電膜技術の開発
ZnO―TFTのソース・ドレイン領域及び画素電極に必要とされるn+ZnO膜の技術の開発と従来の透明導電膜を凌駕する超低抵抗化技術の開発
テーマ3: 保護膜低温形成技術の開発
保護膜を低温形成する装置の開発を行い、開発した装置を用いてプラスチック基板上に密着性良好な耐湿性透明保護膜を形成するための技術開発
テーマ4: 白色光源技術の開発
4−1: 紫外LED技術の開発
ZnOの荷電子制御技術を開発し、pn接合を形成するための技術の開発。さらに、ダブルヘテロ接合構造によるLED技術の開発
4−2: 冷陰極光源技術の開発
電界電子放出効率の高い炭素ナノ構造薄膜の合成法の開発。また、高効率電界電子放出素子を開発し、電極設計・ランプ化技術による面光源の原型開発
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