研究開発成果
※研究者の所属・肩書および参画企業等記載は課題採択または記事掲載時のものであり、現在とは異なる場合があります。
機能材料
プロトタイプ
電子ビームリソグラフィによるサブミクロン解像度の電極印刷用モールド開発
キーワード :  電子ビーム、ローラーモールド、R2Rプロセス、プリンテッド・エレクトロニクス、印刷、ナノインプリント
研究成果最適展開支援プログラム(A-STEP)  シーズ育成タイプ
研究開発課題名 電子ビームリソグラフィを用いた連続ナノパターニング用ローラーモールドの実用化研究 (開発期間:平成26年12月〜平成29年3月)
プロジェクトリーダー所属機関 旭化成株式会社 研究者 松井 真二(兵庫県立大学)

電子ビームとステンシルマスク、精密位置決め回転ステージの課題を解決することで、ローラー用のEBステッパーの開発に成功した。また本装置を用いた露光プロセスも同時に開発を行い、直径100mm、幅250mmのローラーに対して100nmのパターンを形成することに成功した。その際の露光時間は20時間であり、通常のポイントビーム型に対して数千倍のスループットを実証すると共に、本技術の工業化に目処をつけた。また旭化成(株)にて独自に開発をした高解像度R2R印刷プロセスと金属インクを組み合わせることで、250nm解像度の電極印刷にも成功し、プリンテッド・エレクトロニクスの課題であった性能や生産性の低さに対して解決策を提示することが出来た。現在は潜在顧客と共に市場創出に向けた取組を行っている。

成果説明画像

期待されるインパクト(効果、意義、市場規模、売り上げ予測)

5Gを中心としたIoT時代には年間1兆個のセンサーが必要だと推測されている。
これらすべてをMEMES型で補う事は、その設備投資額から難しく、量産性の高い印刷型センサーへの期待が大きい。本技術で高解像度電極を形成することで、高S/N比、小型といった高機能センサーを安価に供給出来る可能性が拓けた。

開発者の声

250mm幅のローラー露光を実現するためには、EBステッパーの材料や計測システムの全てに研究課題があり、一企業で取り組むにはリスクが大きかった。
A-STEP事業で資金面の援助および開発の進め方に関する指導を頂いたことで、一気に実用化にたどり着くことが出来た。また日本の新産業創出に向けた可能性に気づきを与えて頂くことが出来た。
※第16回国際ナノテクノロジー総合展でグリーンナノテクノロジー賞を受賞しました。
●第16回国際ナノテクノロジー総合展・技術会議(nano tech 2017)開催報告

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