研究開発成果
※研究者の所属・肩書および参画企業等記載は課題採択または記事掲載時のものであり、現在とは異なる場合があります。
ものづくり・産業基盤
要素技術構築
流れ/放熱を最適化した大流量対応型フローリアクターの開発に成功
キーワード :  マイクロ、フロー、リアクター、ガラス、微細、流路、リスク、反応、高度制御、安心、安全、化学
研究成果最適展開支援プログラム(A-STEP)  ハイリスク挑戦タイプ
研究開発課題名 8インチ基板を用い、安全性を強化した高反応・高吸収効率MEMSフローリアクターの高精密製作量産化技術の開発(開発期間:平成25年12月〜成27年3月)
プロジェクトリーダー所属機関 株式会社 テクニスコ 研究者 井上 朋也(産業技術総合研究所)

産総研のもつシーズ技術であるマイクロリアクター技術に対して、テクニスコのクロスエッジ®微細加工技術を駆使してB6サイズ(12cm×18cm)のフローリアクターを精度良く製造した。このフローリアクターは3層のガラス基板から構成されており、50μm幅のチャンネルとサブミリメートル幅のチャンネルを精度良く3次元的に構築してある。B6サイズのフローリアクター製造プロセスは8インチのガラス基板やシリコン基板を丸ごと用いる8インチプロセスとなる。テクニスコのクロスエッジ®微細加工技術により、寸法精度が向上、さらに基板間の密着性が向上して、世界的にも例のない8インチMEMSプロセスによるフローリアクター製造を実現できた。

成果説明画像

期待されるインパクト(効果、意義、市場規模、売り上げ予測)

医薬品やファインケミカルの製造では、温度を精密にコントロールする必要のある反応は少なくない。今後は、そのような反応にカスタマイズしたフローリアクターを受注生産する仕組みを整え、医薬品やファインケミカル製造におけるフロー反応プロセスの利用拡大に貢献していきたい。

開発者の声

また今回整備したマイクロ流体デバイス製造環境は、バイオ関連の研究を通して幅広く創薬支援などの用途のマイクロ流体デバイスを安価に供給する上でも有用である。そのようなデバイス開発・製造を通じてわが国の健康長寿社会実現に貢献していきたい。


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