JSTオープンイノベーションフェアWEST~関西発 大学技術シーズ見本市~

JST 国立研究開発法人 科学技術振興機構

省エネルギーIoTを支えるナノデバイス製造技術

兵庫県立大学 高度産業科学技術研究所 極端紫外線リソグラフィ研究開発センター 教授 渡邊健夫
大阪市立大学 大学院工学研究科 化学生物系専攻 助教 西山聖

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シーズの概要

IoT用の電子デバイスは、低コストおよび低消費電力が要求されており、これまで半導体微細加工技術は低コストおよびテオ消費電力を実現してきました。この中で、10 nmの線幅を有する電子デバイスの半導体量産用微細加工技術は2020年以降に使われることになっています。兵庫県立大学はニュースバル放射光施設で極端紫外線リソグラフィ技術を開発しており、この技術の現状と課題について紹介するとともに、今後の展開について報告する。

原子状水素は優れた反応性を有しており、大阪市立大学では低圧環境下で水素ガスを通電加熱された金属触媒体に接触させることで生成される原子状水素を利用した高分子材料の分解反応について検討している。情報産業を支えるナノデバイス製造プロセスにおける基板洗浄工程において、酸化によるデバイス性能の劣化を抑制可能かつ溶剤を用いない低環境負荷な洗浄技術として原子状水素の還元分解反応を利用した事例を紹介する。

マッチングを想定する業界

原子・分子レベルでの制御により、高性能化、新たな機能の発現を目指すナノデバイス製造を行う“ものづくり”産業界。

用途利用分野

半導体をはじめとする原子・分子レベルでの加工を利用したナノデバイス製造分野など。

事業化および新規産業形成の可能性

超微細加工デバイスへの展開により、従来不可能であった機能を発揮するデバイス新産業を形成する可能性を秘めています。

従来技術に対する新規性・優位性

世界最高レベルの加工・プロセス技術を有しており、産業界への展開面において企業との連携に期待しています。

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